硅碳CVD实验炉

硅碳CVD法中试炉设备介绍：

(1)设备型号为HF-RZ20.60

(2)设备专业应用于硅负极材料的中试

(3)设备工作区尺寸为φ200mm×L600mm(一次进料1公斤左右)

(4)设备炉管采用牌号为310S的不锈钢制作

(5)设备可以通入各种不同规格的气体

(6)设备耐火材料全部采用轻质耐火纤维，采用真空浇注，设备热效率高

(7)设备设计温度为RT~1000℃

(8)设备额定电压为380V50HZ

(9)设备设计三个测温点

(10)设备温控区数为三区

(11)设备温控精度为±2℃

(12)设备温控采用PID模式

(13)设备炉管转速为0~2.5rp/min

(14)设备功率为12kw

(15)设备外形尺寸为L1400mm×W1200mm×H1400mm(较终以制造为准)